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Brooks-instrument SLAMf Series Manual do Utilizador Página 19

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1-13
Section 1 - Introduction
Installation and Operation Manual
X-TMF-SLAMf-MFC-eng
Part Number: 541B032AAG
April, 2013 Brooks
®
Digital MFC's and MFM's
Figure 1-7 Model SLAMf50F Digital I/O FOUNDATION Fieldbus MFC
Figure 1-6 Model SLAMf50D Digital I/O DeviceNet MFC
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